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本文在借鉴国外资料的基础上，结合现有的加工条件，对微硅加速度计结构及线路设计作了初步的理论和实践探讨。
微硅加速度计结构及线路初探
【摘 要】
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本文在借鉴国外资料的基础上，结合现有的加工条件，对微硅加速度计结构及线路设计作了初步的理论和实践探讨。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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