透射式GaAs光阴极的静电键合粘结

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提出了用于GaAs光阴极粘结的静电键合方法.相比于传统的热粘结方法,该方法温度低(350℃),时间短(5min),在空气中进行.所制得的GaAs光阴极在激活台内的峰值灵敏度为68.8mA/w(峰值波长为830nm).以此制作的三代微光管的积分灵敏度为1311uA/lm,优于传统的热粘结工艺制作的微光管的灵敏度(~1200uA/lm).
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