【摘 要】
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报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜，其中复合静电驱动结构由一个平板驱动器和一个垂直梳齿驱动器构成．实验表明，该新
【机 构】
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北京大学微电子学研究院微米／纳米加工技术国家级重点实验室,北京大学电子学系区域光纤通信网与新型光纤系统国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（批准号：60278028）和北京市国家技术创新计划（批准号：772167384624）资助项目
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报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜，其中复合静电驱动结构由一个平板驱动器和一个垂直梳齿驱动器构成．实验表明，该新型驱动结构不仅能使微镜实现大范围连续旋转，而且能使微镜实现吸合效应致自发性90°旋转．微镜的连续旋转范围扩大到约46°，同时引发吸合效应的拐点电压也增大．对于具有1和0．5μm厚扭转弹性梁的微镜，实测拐点电压分别为390-410V和140-160V．当该微镜用作光开关时，测得光插入损耗为-1．98dB．
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