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设计了一种测量X射线光源焦斑尺寸的方法：多毛细管准直器法。整体玻璃毛细管X射线准直器是由数10^5根内径为几微米的单玻璃毛细管组成的X射线光学器件，X射线光源发出的发散X射线光束被多毛细管准直器约束后变为准平行束。准平行束的截面直径是X射线光源焦斑直径的函数，通过测量准平行束不同位置处的截面直径，利用线性拟合可得到X射线光源的焦斑直径。分别利用多毛细管准直器法和常用的小孔成像法测量了同一微焦斑X射线光源的焦斑直径，测量结果分别为60．8和59．4μm。多毛细管准直器法对焦斑直径在亚微米量级或更小X射线源的