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在不同的衬底温度下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。系统地研究了氮化碳薄膜的电子结构和光学随温度的变化规律。用富里叶变化红外光谱和X光电子能谱对其化学结构及成分进行了分析。用透射紫外-可见-近红外(UV)光谱对其光学性质进行了评价。结果表明:薄膜中最大氮原子逍度为0.4。芯能级Cls和Nls的结合能产生了4.41-0.3eV的能移。