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期刊论文
扭摆式微硅型加速度计
扭摆式微硅型加速度计
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nfast
【摘 要】
:
本文介绍了一种扭摆式微硅型加速度计的工作原理,制作方法和测试电路。
【作 者】
:
茅盘松
【机 构】
:
东南大学电子工程系
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
扭摆式
微硅
加速度计
Planar vibrator. micromechanical silicon accelerometer.
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本文介绍了一种扭摆式微硅型加速度计的工作原理,制作方法和测试电路。
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