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期刊论文
高精度Si—V型槽的制备技术研究
高精度Si—V型槽的制备技术研究
来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abcdewwy
【摘 要】
:
简要介绍了V型槽设计的原理,并详细讨论了影响V型槽质量的因素.在实验中对其制作工艺技术进行了研究和改进,制作出高质量的V型槽.这些V型槽边缘完整清晰,底部小丘少,已成功地
【作 者】
:
刘洋
陈才和
丁桂兰
崔宇明
【机 构】
:
天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
:
天津大学学报
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
V型槽
硅
集成光学器件
封装
制备技术
制作工艺
设计原理
钛扩散铌酸锂
V-groove
encapsulation
etching
integrat
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简要介绍了V型槽设计的原理,并详细讨论了影响V型槽质量的因素.在实验中对其制作工艺技术进行了研究和改进,制作出高质量的V型槽.这些V型槽边缘完整清晰,底部小丘少,已成功地用于国家自然科学基金项目“混合型集成光学加速度地震检波器理论与实验研究”的集成光学器件封装实验中.
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