中能弹性背散射电子的角分布在表面成分分析中的应用

来源 :浙江大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:smarten
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本文从理论上证明中能弹性背散射电子的角分布可以用来分析样品中原子的浓度,并对金、铜及金铜合金进行了分析。结果表明中能弹性散射电子完全可以用来进行成分分析。在本特例中,在未加任何修正的情况下,由本方法得到的浓度和实际值的误差只有5%。 In this paper, we prove that the angular distribution of elastic backscattering electrons can be used to analyze the concentration of atoms in the samples and to analyze the gold, copper and gold-copper alloys. The results show that medium-energy elastic scattering electrons can be used for the composition analysis. In this particular example, the error between the concentration and the actual value obtained by this method is only 5% without any correction.
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