【摘 要】
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首先介绍了投影光刻技术发展的历程、趋势和软 X射线投影光刻技术的特性 ,其次介绍了软 X射线投影光刻原理装置的研制工作。该装置由激光等离子体光源、掠入射椭球聚光镜、透
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室!吉林长春130021,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室!吉林长春130021,中国科学院长春光学精密机械与物理
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首先介绍了投影光刻技术发展的历程、趋势和软 X射线投影光刻技术的特性 ,其次介绍了软 X射线投影光刻原理装置的研制工作。该装置由激光等离子体光源、掠入射椭球聚光镜、透射掩模、镀有多层膜的 Schwarzchild微缩投影物镜、涂有光刻胶的硅片及相应的真空系统组成。 0 .1倍的 Schwarzchild微缩投影物镜具有小于 0 .2μm的分辨率
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