基于图像处理的线距测量方法

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 2次 | 上传用户:freeangel01
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
关键尺寸扫描电镜(CD-SEM)是对微纳尺寸线距标准样片定标的标准器具。为提高标准样片的定标准确度,研究一种基于图像处理技术的测量算法。首先,对研制样片的特征进行分析;其次,研究线性近似算法和线距测量算法,并分别对100nm~10μm的线距标准样片进行测量;最后,利用纳米测量机进行对比实验研究。实验结果表明,线性近似算法的相对误差可以控制在0.45%以内,相比之下,线距测量算法的相对误差可控制在0.35%以内。因此,线距测量算法提高了线距的测量精度,为提高线距测量类仪器量值的可靠性、保证半导体器件制
其他文献
光泵激光器的效率在很大程度上取决于照明组件中反射器的质量。反射器的质量与反射性质(漫反射或镜反射)关系不大,而主要取决于反射率。尽管镜式反射器有较大的普及性,但它们在反射率方面不如漫反射器,除此之外,在激活介质中还建立了泵浦强度的不均匀分布。
期刊
针对暗通道先验去雾算法在处理单幅图像去雾时计算复杂度高且对于天空等高亮区域有局限性而易产生失真的问题,从暗通道模型出发,提出首先利用双暗通道拟合进行透射图估计,然后采用K均值聚类算法对有雾图像进行区域分类之后再针对天空区域估计出大气光强度的算法。该算法增强了图像的细节信息,并大大降低了计算复杂度,且提升了大气光强度估计值的准确性,有效抑制了高亮区域的失真。主观和客观评价表明,该算法能够取得比传统算
目前大气透射仪存在发射端和接收端安装调校困难的问题,并且在工作过程中,发射端和接收端一旦发生偏移,光轴不处于一条直线,将大大影响能见度测量结果。针对这些问题,提出将近景摄影测量技术应用到大气透射仪的对准系统中,采用圆形作为人工标志物,通过图像处理及椭圆最小二乘拟合算法,计算人工标志物的圆心坐标,根据标志物的圆心坐标与摄像机镜头的中心坐标的位置关系,将发射端和接收端的摄像机镜头的中心通过旋转结构拉倒
期刊
通过计算机模拟发现在可传输双模的三包层色散补偿光纤中如果抑制LP02模, 而仅传输LP01模时能在一个较窄的带宽内产生大于数千ps/nm·km的负色散, 并且具有较大的模场直径、较小的弯曲损耗和偏振模色散, 另外还具有较小的温度波长漂移以及同其它色散补偿光纤一样大小的损耗, 是一种非常有前途的新型色散补偿光纤
期刊
为了能有效应对目标姿态变化、光照变化和运动模糊等场景对目标跟踪问题带来的干扰以及满足系统实时性,提出了一种基于特征压缩的目标跟踪方法,该方法通过随机投影来保存图像特征空间结构,采用稀疏测量矩阵有效压缩多尺度特征空间的特征。将一幅图像分为前景目标和背景,对这两部分采用同样的稀疏测量矩阵进行压缩特征提取,将跟踪任务变为建立一个二值贝叶斯分类器,同时在压缩域上在线更新,实现对目标特征的有效表达和实时、准
采用一个极紫外投影光刻掩模衍射简化模型实现了三维接触孔掩模衍射场的快速仿真计算。基于该模型,得到了接触孔掩模衍射场分布的解析表达式,并对光刻成像时的图形位置偏移现象进行了解释和分析。简化模型中,掩模包括吸收层和多层膜两部分结构,吸收层的透射利用薄掩模修正模型进行计算,多层膜的反射近似为镜面反射。以周期44 nm、特征尺寸分别为16 nm和22 nm的方形接触孔为例,入射光方向发生变化时,该简化模型与严格仿真相比,图形特征尺寸误差小于0.4 nm,计算速度提高了近100倍。此外,考虑到多层膜镜面位置对图形位
根据耦合器的耦合输出对耦合区长度变化敏感的特点,设计了一种用于振动测量的耦合型光纤传感器。将耦合器的两端固定在V型槽内,使耦合区悬空以实现振动的测量,并设计了相应的光电转换和采样放大电路。对简支梁的振动和冲激响应进行了测量,测量结果和高精度压电传感器的响应一致,同时研究了光纤传感器的横向抗干扰特性。实验证明,耦合型光纤振动传感器在300 Hz以下具有良好的振动响应特性,可以实现振动的测量。
X射线多能计算机断层扫描(CT)方法通过多次圆轨迹扫描获取不同能量下的投影数据进行图像重建,扫描效率较低,受辐射剂量较大。分能段CT成像方法依据传统圆轨迹CT,对不同扫描角度采用不同能量,获取分能段投影。针对分能段投影的灰度阶跃问题,采用精确高频定位的小波分析方法,结合小波低频的灰阶高度修正小波系数,实现小波逆变换后投影的灰阶修正,通过重建实现分能段CT成像。仿真结果表明,与硬化伪影校正方式相比,该方法在增加能量信息的同时消除了灰阶引起的灰阶伪影,可有效提高重建图像对比度并改善硬化伪影现象。