【摘 要】
：
<正> 近几年来,SOI(silicon on Insulator)材料因用于制备抗辐照、高速CMOS电路及三维集成电路等受到人们越来越多的关注。在各种SOI技术中,离子注入形成SOI材料有其独到的优
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
论文部分内容阅读
<正> 近几年来,SOI(silicon on Insulator)材料因用于制备抗辐照、高速CMOS电路及三维集成电路等受到人们越来越多的关注。在各种SOI技术中,离子注入形成SOI材料有其独到的优点,制备工艺简单方便,可获得高质量的表层单晶硅。本文以XTEM研究大束流,高剂量的氮离子或氧离子注入单晶硅形成的SOI材料,用于确定表面层硅的辐照损伤和氮化硅或氧化硅埋层剖面的显微结构。注N~+SOI试样的制备,采用Φ50毫米的硅晶片(n型、3～6Ωcm,<110>)注入能量为190k
其他文献
在新的时代背景下,中国体育产业迎来了前所未有的发展机遇。浙江作为改革开放的先行省份和民营经济大省,带有鲜明浙江特色的体育产业的发展一直走在全国前列。近些年来,浙江
目的:通过观察苯磺酸左旋氨氯地平治疗妊娠期高血压疾病的疗效及对妊娠结局的影响,为妊娠期高血压患者使用左旋氨氯地平的安全性和有效性提供理论依据;同时观察妊娠期高血压患者的抗高血压治疗效果和其血同型半胱氨酸水平的相关性,为妊娠期高血压的治疗和干预提供新的思路。方法:1.收集2018.06-2018.12宜宾市第二人民医院就诊、符合试验纳入标准的妊娠期高血压疾病患者62例,年龄16-45岁(平均年龄32
摘 要：工业设计专业的学生大多是非绘画艺术类学生，没有学习过素描、色彩等，要想快速提升此类学生的空间感、透视感以及设计感，设计素描课程的教学与实际应用显得至关重要。所以设计素描教师要因材施教，明晰工业设计专业的培养方向，有针对性地进行教学。 关键词：工业设计;设计素描;针对性 一、工业设计专业学生特点 1.缺少系统的绘画培训 工业设计专业的学生大多是非绘画艺术类学生，有的甚至
消费者反悔权可以弥补消费者的非理性行为,可以纠正市场失灵,并能够解决在网络信息不对称状况下所引起的一些问题。2019年中国网络购物用户规模已超过6亿,网络购物销售总额也
随着中国社会政治经济的快速发展,越来越多的夫妻双方因情感破裂而离异或一方去世,未成年子女与父母一方共同生活,而与其共同生活的一方为了生活选择外出务工,以改善家庭条件
随着我国动画事业发展逐渐趋于成熟,对于动画制作技术运用和手段实施的要求也在逐渐提升。鉴于此,本文针对计算机二维动画新技术制作手段及其运用进行了分析,希望在本文的研
伴随近些年我国电网建设工作的不断推进，配网规划建设工作也随之展开。作为电网系统中的重要组成，配网运行水平和建设质量的高低，不仅影响供电服务质量，还与电网能否安全可靠运行
中国道教发祥地之一的瓦屋山,其原始神奇优美的生态环境,既是进行人与自然的生态伦理教育的理想之地,也是开展道教文化旅游活动的宝贵资源.道教生态观与可持续发展观具有内在
图示法是把题意用简略图的形式直观表达出来，便于直观分析和比较，有利于提高学生分析问题和解决问题的能力，对学生思维的敏捷性和逻辑性有较好的培养作用。本文以四个实例分析讲
随着经济全球化和社会一体化的发展,新的管理思想层出不穷,社会需要懂管理学知识并熟练掌握英语的复合型人才。管理学英语作为行业英语的重要组成部分,日益受到人们的重视。