单晶硅膜相关论文
本文研究了《100》单晶硅在EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜,在EPW腐蚀液中因《100》单晶硅腐蚀速率各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆......
该文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小外接圆半径......
纳电子机械系统(NEMS)是在微电子机械系统(MEMS)基础上发展起来的具有纳米技术特点的器件和系统。单晶硅作为应用于MEMS和NEMS最广......
基于单晶硅折射率随温度变化的热光效应,研究了一种硅基双波长光纤温度传感器.理论分析了单晶硅膜温度传感的机理,通过计算得到了......
本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作 错综合复杂的正八边形单硅膜的方法。......
双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机械装置上的应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动......
<正> 近几年来,SOI(silicon on Insulator)材料因用于制备抗辐照、高速CMOS电路及三维集成电路等受到人们越来越多的关注。在各种S......
本文描述用离子注入氮化硅层隔离的单晶硅膜制作的CMOS器件.给出这种CMOS器件的工艺方法以及晶体管和倒相器的特性,讨论这种技术的......
