【摘 要】
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针对射频器件小型化的发展需求,设计了一种新型射频微机电系统(MEMS)单刀四掷开关结构,通过K型功分器与四个单刀单掷开关级联而成,实现低插损、高隔离的射频性能。其中,K型功
【机 构】
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中北大学前沿交叉科学研究院,中北大学仪器与电子学院,中北大学理学院
【基金项目】
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军工双百工艺攻关资助项目(JCKY201808B006),装备发展部新品项目(2018XW0026,2019XW0010)
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针对射频器件小型化的发展需求,设计了一种新型射频微机电系统(MEMS)单刀四掷开关结构,通过K型功分器与四个单刀单掷开关级联而成,实现低插损、高隔离的射频性能。其中,K型功分器设计是由1个输入端、4个输出端及1个圆盘型结构优化组成。仿真结果表明:在DC-20 GHz频段内,该单刀四掷开关的插入损耗≤0.41 dB,隔离度≥21 dB,驱动电压为12.4 V;并且在整个工作频段内射频性能稳定,波动幅度小,线性度高。设计的K型单刀四掷开关整体尺寸为2.11 mm×1.6 mm×0.6 mm
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