【摘 要】
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利用导纳谱研究了锗硅单量子阱的热稳定性．导纳谱热发射模型的理论模拟和深能级缺陷研究表明：在９００℃以下退火１０分钟，晶格弛豫并不明显，但原子的互扩散引起量子阱中子能级严重降低．同时
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室
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利用导纳谱研究了锗硅单量子阱的热稳定性．导纳谱热发射模型的理论模拟和深能级缺陷研究表明：在９００℃以下退火１０分钟，晶格弛豫并不明显，但原子的互扩散引起量子阱中子能级严重降低．同时，我们计算出了原子的互扩散系数，以及单量子阱Ｓｉ／Ｓｉ０．７５Ｇｅ０．２５／Ｓｉ中原子互扩散的热激活能１．０８ｅＶ．
The thermal stability of a single quantum well of SiGe was investigated by admittance spectroscopy. The theoretical simulation and deep level defect studies of the admittance spectrum heat emission model show that the lattice relaxation is not obvious at 900 ℃ for 10 minutes, but the interdiffusion of atoms causes the quantum well neutron level to decrease seriously. At the same time, we calculated the interdiffusion coefficient of atoms and the thermal activation energy of 1.08 eV for the mutual diffusion of atoms in single quantum well Si / Si0.75Ge0.25 / Si.
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