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提高考夫曼型离子源束流密度的研究
提高考夫曼型离子源束流密度的研究
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:studentxp2007
【摘 要】
:
本文依据金属的索未菲自由电子模型的量子统计理论结果,对提高考夫曼型离子源束流密度进行了研究,取得了一些有价值的结果。
【作 者】
:
赵光兴
杨国光
【机 构】
:
浙江大学光科系
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
1995年5期
【关键词】
:
考夫曼离子源
束流密度
微光学元件
离子束刻蚀
Kaufman ion source
lon beam density
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本文依据金属的索未菲自由电子模型的量子统计理论结果,对提高考夫曼型离子源束流密度进行了研究,取得了一些有价值的结果。
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