【摘 要】
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光刻机是微纳器件的重要加工设备之一,推动着电子工业的不断发展。研发人员在设计过程中首要关注的是其功能的多样性、可靠性、实用性以及设备的经济性等方面。与其主要强调
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所成都610209
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光刻机是微纳器件的重要加工设备之一,推动着电子工业的不断发展。研发人员在设计过程中首要关注的是其功能的多样性、可靠性、实用性以及设备的经济性等方面。与其主要强调功能相比,外型设计往往容易被忽视,而良好的外型对用户的使用和感官意义重大。光刻机外型主要包括形态、色彩、材质、人机工程学、技术经济性以及绿色设计等方面,文章对此展开全面分析,提出了一套可行的光刻机外型设计理念。为光刻机外型设计指明了方向。
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