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介绍了石英微机电系统（MEMS）陀螺的工作原理及敏感芯片的音叉结构特点，采用有限元法分析了敏感芯片的结构特性，并对结构进行优化。利用石英晶体的压电效应，设计了合理的电极布局，并结合敏感芯片结构特点介绍了其微机械加工工艺。通过结构优化和合理的电极布局，提高了石英MEMS陀螺的性能。
石英MEMS陀螺的结构特性分析
【摘 要】
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介绍了石英微机电系统（MEMS）陀螺的工作原理及敏感芯片的音叉结构特点，采用有限元法分析了敏感芯片的结构特性，并对结构进行优化。利用石英晶体的压电效应，设计了合理的电极布局，并
【机 构】
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中国电子科技集团公司第26所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2011年4期
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