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简要介绍了光学滤光片的制造与使用状况,讨论了获得高质量的光学滤光片的条件,简单分析常用方法中光电极值法的固有缺陷,提出一种基于宽光谱扫描法的膜厚控制系统,重点介绍其监控原理、硬件系统及其控制流程,并对其性能进行分析和讨论.
基于宽光谱扫描法的光学膜厚监控系统的研究
【摘 要】
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简要介绍了光学滤光片的制造与使用状况,讨论了获得高质量的光学滤光片的条件,简单分析常用方法中光电极值法的固有缺陷,提出一种基于宽光谱扫描法的膜厚控制系统,重点介绍其
【机 构】
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华南理工大学
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
：
2004年6期
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