【摘 要】
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FIB-SEM（Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope）双束系统是集聚焦离子束和扫描电子显微镜与一体的系统，其最大的优势是可以实现离子束切割或微加工的同时用电子束实时观察的功能。主要介绍FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷检测中的常见应用，如盲孔孔底分析、杂物失效分析和晶体结构分析。
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FIB-SEM（Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope）双束系统是集聚焦离子束和扫描电子显微镜与一体的系统，其最大的优势是可以实现离子束切割或微加工的同时用电子束实时观察的功能。主要介绍FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷检测中的常见应用，如盲孔孔底分析、杂物失效分析和晶体结构分析。
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