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193nm浸没式光刻技术发展现状及今后难点
193nm浸没式光刻技术发展现状及今后难点
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aabbccdd654321
【摘 要】
:
2002年之后,浸没式技术迅速成为光刻技术中的新宠.因为此种技术的原理清晰及配合现有的光刻技术变动不大,获得了人们的极大赞赏.
【作 者】
:
《电子工业专用设备》编辑部
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
浸没式光刻技术
技术变动
原理
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2002年之后,浸没式技术迅速成为光刻技术中的新宠.因为此种技术的原理清晰及配合现有的光刻技术变动不大,获得了人们的极大赞赏.
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