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本发明是关于乙硅烷的提纯方法。具体说来，是关于以金属氢化物还原六卤代乙硅烷等卤代乙硅烷所得含杂质的乙硅烷之有效提纯方法。
乙硅烷的提纯方法
【摘 要】
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本发明是关于乙硅烷的提纯方法。具体说来，是关于以金属氢化物还原六卤代乙硅烷等卤代乙硅烷所得含杂质的乙硅烷之有效提纯方法。
【机 构】
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不详,光明所,浙江大学
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1985年4期
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