【摘 要】
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SU-8是一种性能优异的厚胶,广泛应用于高深宽比的MEMS微结构中.本文首先用正交试验研究了前烘时间、曝光剂量、后烘时间以及显影时间对SU-8光刻胶图形尺寸精度的影响,得到了
【机 构】
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南京航空航天大学,机电学院,南京,210016
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SU-8是一种性能优异的厚胶,广泛应用于高深宽比的MEMS微结构中.本文首先用正交试验研究了前烘时间、曝光剂量、后烘时间以及显影时间对SU-8光刻胶图形尺寸精度的影响,得到了优化的工艺组合.在此基础上,运用BP神经网络对试验数据进行分析处理,预测了较正交试验分析结果更为优化的工艺组合,并用试验验证了其正确性.结果表明,经正交试验数据训练过的BP神经网络,很好地映射了工艺参数与优化指标之间的复杂非线性关系,此时应用BP神经网络对工艺参数进行优选研究能够得到更全面、准确的结果.
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