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柔性铰链是目前被广泛用于微动机器人的主要部件之一，其刚柔度性能直接影响微动机器人的终端定位。以材料力学为理论基础，推导了直梁平行板型柔性移动副刚度的解析公式，利用有限元方法对柔性移动副刚度进行验证，分析结果与解析公式的计算结果基本一致。并分析了平行板移动副的结构参数对其刚度性能的影响，为柔性移动副设计优化提供参考。