【摘 要】
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三平板剪切干涉仪是环路剪切干涉仪中最简单的一种 ,它具有基本等光程、剪切量连续可调、两出射光束恒相互平行等特点。利用三平板剪切干涉仪对激光器出射波面质量进行检测 ,
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三平板剪切干涉仪是环路剪切干涉仪中最简单的一种 ,它具有基本等光程、剪切量连续可调、两出射光束恒相互平行等特点。利用三平板剪切干涉仪对激光器出射波面质量进行检测 ,探讨了由剪切干涉图复原原始波面的 1阶微分法 ,编制了专家辅助软件系统 ,为光机型的三平板剪切干涉仪配置了实时图像采集、处理系统 ,实现了光、机、电、算相结合 ,融硬、软件于一体的数字波面剪切干涉仪 ,并通过实验验证了方法的重复性精度。
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