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Hf基高k薄膜的选择性去除
Hf基高k薄膜的选择性去除
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:njnuqxj
【摘 要】
:
本文对HfO2和HfSixOy薄膜与热氯化物TEOS和Si之间具有最大蚀刻选择比的湿法蚀刻剂的最佳配比进行了实验设计论证。并在生产环境中实现了理想的蚀刻速率。
【作 者】
:
John S.Starzynski
【机 构】
:
HoneywellElectronicMaterials
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2006年6期
【关键词】
:
HFO2
薄膜
去除
设计论证
最佳配比
TEOS
蚀刻速率
生产环境
蚀刻剂
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本文对HfO2和HfSixOy薄膜与热氯化物TEOS和Si之间具有最大蚀刻选择比的湿法蚀刻剂的最佳配比进行了实验设计论证。并在生产环境中实现了理想的蚀刻速率。
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