【摘 要】
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离子注入技术属原子级表面加工技术, 其具备改性效果明显、 效率高、 可控性和可操作性强、无污染等优点, 在金属材料、 半导体器件、 医用抗菌等众多领域应用广泛.本文分析
【机 构】
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离子注入技术属原子级表面加工技术, 其具备改性效果明显、 效率高、 可控性和可操作性强、无污染等优点, 在金属材料、 半导体器件、 医用抗菌等众多领域应用广泛.本文分析了采用离子注入法对金属表面改性的国内外专利申请文献, 分析了该领域的专利申请量, 归纳出申请人国别和应用领域分布, 同时对该领域未来发展趋势进行了预测.
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