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利用3D扫描仪开发超精密螺杆转子
利用3D扫描仪开发超精密螺杆转子
来源 :现代制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiafe
【摘 要】
:
EBARA Densan公司是EBARA Corporation旗下的全资子公司,经营范围包括风力和水力机械系统、水处理系统、环境保护系统和半导体制造设备。公司的机电一体化部门利用其长期积累
【作 者】
:
河内美宙
满修
【出 处】
:
现代制造
【发表日期】
:
2009年23期
【关键词】
:
螺杆转子
开发
超精密
扫描仪
半导体制造设备
3D
环境保护系统
水处理系统
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EBARA Densan公司是EBARA Corporation旗下的全资子公司,经营范围包括风力和水力机械系统、水处理系统、环境保护系统和半导体制造设备。公司的机电一体化部门利用其长期积累的旋转机械和电气设备控制技术,开发出各种产品,如小巧而高效的紧凑化流体机械和永磁电动机。
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