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结合电荷放大原理，通过设计高性能的运算放大器，较好地完成了杂散电容的屏蔽，实现了高可靠性的微电容检测。采用CSMC0．5μm CMOS工艺，用Cadence Spectre对其进行仿真验证，能精确检测出aF量级的微电容。结合考虑不可避免的工艺误差，对差分标称电容的失配进行分析与校准。结果表明：失配仅带来固定的失调，不会对c／v电路的灵敏度造成显著的影响。