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KLA—TENCOR推出用于测量等离子室效应的PLASMAVOLTX2
KLA—TENCOR推出用于测量等离子室效应的PLASMAVOLTX2
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 16次 | 上传用户:mrchangmeng
【摘 要】
:
KLA-Tencor公司新近推出了PlasmaVolt~(TM) X2,可用于在半导体晶圆处理系统中测量等离子室的状况。由于增加了内嵌式传感器数量,且空间
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2008年11期
【关键词】
:
KLA-Tencor公司
离子室
测量
PLASMA
空间分辨率
无线电频率
半导体
传感器
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KLA-Tencor公司新近推出了PlasmaVolt~(TM) X2,可用于在半导体晶圆处理系统中测量等离子室的状况。由于增加了内嵌式传感器数量,且空间
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