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结合实际分析线阵CCD器件采用投影脉冲填冲法进行尺寸测量时系统产生非线性误差的原因,并介绍分段折线逼近法进行处理的方法。
线阵CCD测量系统的非线性处理
【摘 要】
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结合实际分析线阵CCD器件采用投影脉冲填冲法进行尺寸测量时系统产生非线性误差的原因,并介绍分段折线逼近法进行处理的方法。
【机 构】
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长春大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1992年01期
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