用快速胶凝法制备无机氧化铝膜

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用溶胶快速胶凝法制备了无龟裂的氧化铝膜. 勃姆石凝胶膜的厚度与喷雾距离、时间和溶胶的浓度之间的关系为δ∝ct/ d2 . 适宜的溶胶( Al O O H) 浓度为0 .5 ~1 .4mol/ L,粘度应小于25 ×10 - 3 Pa·s.用此法可制备厚度为0 .05μm 的超薄负载氧化铝膜和厚度为0 .2m m 的无龟裂的无负载氧化铝膜. 利用 X 射线衍射、透射电镜研究了不同温度时的物相和膜的截面、表面的形貌. γ Al2 O3 膜的晶粒大小均匀, 以长形晶粒为主, 形成了较均匀的
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