【摘 要】
：
为了获得高质量的GaN薄膜材料,研究了金属有机物气相沉积系统中GaN插入层对GaN衬底同质外延层表面宏观缺陷和晶体质量的影响.研究发现,插入层生长温度是影响GaN同质外延膜表
【基金项目】
：
国家自然科学基金（批准号：61505181,61474101,61504125）, 国家高技术研究发展计划（批准号：2015AA016800,2015AA033300）, 国家重点研发计划（批准号：2016YFB0400902）资助的课题
论文部分内容阅读
为了获得高质量的GaN薄膜材料,研究了金属有机物气相沉积系统中GaN插入层对GaN衬底同质外延层表面宏观缺陷和晶体质量的影响.研究发现,插入层生长温度是影响GaN同质外延膜表面形貌和晶体质量的关键因素.由于生长模式与插入层生长温度相关,随着插入层生长温度的降低,外延膜生长模式由准台阶流模式转变为层状模式,GaN同质外延膜表面丘壑状宏观缺陷逐渐减少,但微观位错密度逐渐增大.通过对插入层温度和厚度的优化,进一步调控外延层的生长模式,最终有效降低了外延层表面的宏观缺陷,获得了表面原子级光滑平整、位错密度极低的G
其他文献
壮族历史文化五彩斑斓，具浓厚民族特色的有“那”(壮语水田或稻田)文化、“么”(吟诵经诗)文化以及“竜”(壮语森林或树木)文化，尤其以“竜”文化著称，对壮家人生活影响巨大。自
迎着五月灿烂的阳光，我们来到泸西县中枢镇阿勒村。刚进村口，迎面走来一位农民，县能源站的技术员叫住他，请他领我们去看他家的沼气池。走进他家庭院，只见整个院子干净整洁，花台上鲜
自2003年5月以来，在凤庆县勐佑镇扁口村松坡林一带，几乎每天都能看见一位身材硬朗、精神矍铄的老人，带着他的侄子在一片不毛之地上挖坑植树。他，就是凤庆县地税四分局的退休干部
由云南省野生动物保护协会在对全省160多家野生动物养殖单位进行调研的基础上，组织编写的《野生动物养殖》一书干近日出版发行。该书着重介给了分别属于毛皮用、医药用、肉食
在中国大陆，康师傅是一个家喻户晓的品牌，几乎就是“方便面”的代名词。康师傅以60亿包的年销量被称为“中国面王”，同时也是世界上销售量最大的方便面生产厂商，一年中单用于包装
针对浅海波导中脉冲声源被动测距问题,提出了一种利用接收信号的能量密度函数进行warping变换的声源被动测距方法.对于浅海波导,接收信号的能量密度函数中不同号简正波相干部
针对晶体管在加速寿命实验和老炼实验等实际工程中结温的在线测控问题,本文基于大电流电学测温方法研究了型号为2N3055的双极大功率晶体管在恒定的集电极电压V_（ce）和集电极电
介绍了配电网无功补偿技术的现状，分析了配电网无功补偿工作中现存的技术问题，指出从电力系统角度进行综合考虑的线路无功补偿是配电网降损节能的有效手段。
8p11骨髓增殖综合征（8p11 myeloproliferative syndrome,EMS）是与定位于髓系和淋巴系细胞8号染色体短臂（8p11）的成纤维细胞生长因子受体1（FGFR1）基因易位相关的侵袭性肿瘤。EMS以外