冶金级硅单向凝固过程中杂质分凝特性的研究

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应用单向凝固技术,用冶金级硅制得单向凝固试棒。研究了多晶硅试棒凝固过程中杂质分凝特性、杂质元素的轴向分布规律及提纯效果。结果表明,在冶金级硅单向凝固试棒中,存在杂质元素的负偏析区,凝固工艺参数G_L、R及G_L/R对杂质元素的分凝特性有极显著的影响。 Application of unidirectional solidification technology, metallurgical grade silicon made of one-way solidified test stick. The segregation characteristics of impurities, the axial distribution of impurity elements and the purification effect during the solidification of polysilicon test bar were studied. The results show that there is a negative segregation zone of impurity elements in the metallurgical grade silicon unidirectional solidified test rod. The solidification process parameters G_L, R and G_L / R have a very significant influence on the segregation behavior of the impurity elements.
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