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介绍了基于面阵 CCD成像技术的测量仪器的光学系统参数设计、测量原理和电路系统的实现方法。应用结果表明其设计有独到之处 ,适用于许多难以检验的小尺寸工件的测量 ,操作简单。精度可以满足工艺控制的要求
基于面阵CCD成像技术的测量仪器及系统的研制
【摘 要】
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介绍了基于面阵 CCD成像技术的测量仪器的光学系统参数设计、测量原理和电路系统的实现方法。应用结果表明其设计有独到之处 ,适用于许多难以检验的小尺寸工件的测量 ,操作简单。精度可以满足工艺控制的要求
【机 构】
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中国计量学院机电工程学院
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2001年S2期
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