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本文提出了一种新型的扩散硅荷重传感器。介绍了一种微计算机软件补偿技术,以消除或减小由扩散硅器件的输出温度影响、零点温度影响、零点漂移和非线性带来的误差,从而提高了硅荷重传感器的精度。
硅荷重传感器
【摘 要】
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本文提出了一种新型的扩散硅荷重传感器。介绍了一种微计算机软件补偿技术,以消除或减小由扩散硅器件的输出温度影响、零点温度影响、零点漂移和非线性带来的误差,从而提高了
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1990年2期
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