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综述了适合于电子行业用的无油机械真空泵的种类 ,介绍几种无油机械真空泵的结构、性能、特点和存在的问题 ,以及对泵的选择和应用。
无油机械真空泵及其应用
【摘 要】
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综述了适合于电子行业用的无油机械真空泵的种类 ,介绍几种无油机械真空泵的结构、性能、特点和存在的问题 ,以及对泵的选择和应用。
【机 构】
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东北大学
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2002年04期
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