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THz波技术在生物医学、材料科学、天文学、军事通信等各方面都具有广泛的应用前景。文章介绍了几种能够产生THz的真空电子器件的工作机理及其在发展过程中遇到的瓶颈问题，得出了利用真空电子器件产生THz波的各种优势，介绍了国内外各种太赫兹真空电子器件研究的技术水平及应用现状，同时对真空电子器件产生THz波技术进行了展望。