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简要回顾了光学光刻技术的发展历程,从IC技术节点微细化要求对光刻技术的挑战方面讨论了光学光刻技术的发展趋势及进入32nm技术节点的可能性。
光学光刻技术的历史演变
【摘 要】
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简要回顾了光学光刻技术的发展历程,从IC技术节点微细化要求对光刻技术的挑战方面讨论了光学光刻技术的发展趋势及进入32nm技术节点的可能性。
【机 构】
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长庆实业集团有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年4期
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