【摘 要】
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提出了一种基于MEMS技术设计和制作应用于视网膜假体的柔性神经微电极阵列的工艺流程,引入离子束刻蚀的工艺大幅度减小了导线和线间的宽度,在单层聚合物上制作了高密度的微电
【机 构】
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上海交通大学生物医学工程学院,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973项目:2011CB707503/05);国家自然科学基金(61273368);国家高技术研究发展计划(863项目:2009AA04Z326)
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提出了一种基于MEMS技术设计和制作应用于视网膜假体的柔性神经微电极阵列的工艺流程,引入离子束刻蚀的工艺大幅度减小了导线和线间的宽度,在单层聚合物上制作了高密度的微电极阵列(120通道,10×12阵列)。对实际制得的微电极阵列测试表明,其在1 kHz频率的电脉冲刺激下阻抗均值为16 kΩ±2 kΩ,相位差均值为-85o±3o,达到了预期设计目标。
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