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运用玻耳兹曼方程研究金属薄膜中的电子输运，考虑了来自表面和晶粒间界的散射，计算连续金属薄膜的平行电阻率。得到的电阻率理论曲线与实验曲线符合得很好。弥补了Ｆ－Ｓ理论在较薄厚度时电阻率理论与实验结果不相符的缺陷。
连续金属薄膜的电阻率研究
【摘 要】
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运用玻耳兹曼方程研究金属薄膜中的电子输运，考虑了来自表面和晶粒间界的散射，计算连续金属薄膜的平行电阻率。得到的电阻率理论曲线与实验曲线符合得很好。弥补了Ｆ－Ｓ理论在较薄厚
【机 构】
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深圳大学理学院,深圳丰华电脑有限公司
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年6期
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