宽带常γ线性电调管材料研究

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:czjjay
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报导了宽带常γ线性电调管材料的研制技术及研究结果,给出了材料的多层浓度分布曲线。介绍了用该材料研制的WB70型宽带常γ线性电调管和WB010型砷化镓电调管管芯等器件结果。文中对宽带常γ线性电调管材料的质量进行了讨论。结果表明,适当控制生长速率才能得到较满意的浓度分布曲线;采用[100]向最近的[110]偏一定角度的单晶作衬底进行生长可获得表面形貌光亮的多层外延材料。
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