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<正> 一、引言 硅传感器已有三十多年历史。开始用于p—n结测光并根据p—n结温敏特性制作了简单的温度传感器。六十年代,人们在硅材料研究工作中,发现了霍尔效应和压阻效应。然而,由于我们仍处在信息社会的初级阶段,无法认识到未来几年高性能/价格比
硅传感器的发展趋势
【摘 要】
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<正> 一、引言 硅传感器已有三十多年历史。开始用于p—n结测光并根据p—n结温敏特性制作了简单的温度传感器。六十年代,人们在硅材料研究工作中,发现了霍尔效应和压阻效应。
【机 构】
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荷兰岱尔夫特大学电子工程系教授
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1992年1期
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