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SiC（碳化硅）单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素。在使用单晶炉和维护过程中,采用不同的工艺循序渐进地对单晶炉真空密闭性能进行检验,可提高单晶炉设备的性能。
碳化硅单晶炉真空泄漏的检测方法
【摘 要】
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SiC（碳化硅）单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素。在使用单晶炉和维护过程中,采用不同的工艺循序渐进地对单晶炉真空密闭性能进行检验,可提高单晶炉设
【机 构】
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新疆天科合达蓝光半导体有限公司
【出 处】
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石河子科技
【发表日期】
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2016年1期
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