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基于串联机构与并联机构的不同特性以及伺服电机的优良控制特性，设计了一种串并联混合的五自由度运动平台，通过对平台并联机构的动力学分析，提出一种3-RPS并联机构正解几何算法。设计了基于C#语言的控制系统，并对系统的硬件与软件进行了介绍，控制系统可以实现平台运动范围内的精确控制，测试结果显示：平台平动定位精度优于10μm，转动定位精度优于0．01°。