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期刊论文
类金刚石膜的制备,性能和应用
类金刚石膜的制备,性能和应用
来源 :材料科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sophia0d
【摘 要】
:
本文简单介绍了类金刚石膜的制备方法、并讨论了膜成分、结构、电阻率、硬度、内应力和附着力等性能,总结了类金刚石膜在机械、电子、声学、电子计算机、光学和医学等领域的应
【作 者】
:
袁镇海
邓其森
【机 构】
:
广州有色金属研究院
【出 处】
:
材料科学与工程
【发表日期】
:
1994年4期
【关键词】
:
类金刚石膜
性能
应用
Diamond-Like Carbon films
properties
applications
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本文简单介绍了类金刚石膜的制备方法、并讨论了膜成分、结构、电阻率、硬度、内应力和附着力等性能,总结了类金刚石膜在机械、电子、声学、电子计算机、光学和医学等领域的应用状况以及将来的发展趋势。
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