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介绍了脉冲激光沉积（PLD）制备薄膜的原理，讨论了射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点，通过分析比较证实了射频辅助脉冲激光沉积比无射频辅助脉冲激光沉积具有更突出的优点。
射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点
【摘 要】
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介绍了脉冲激光沉积（PLD）制备薄膜的原理，讨论了射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点，通过分析比较证实了射频辅助脉冲激光沉积比无射频辅助脉冲激光沉积具有更突出的优点。
【机 构】
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武汉工业学院数理科学系
【出 处】
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武汉工业学院学报
【发表日期】
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2006年3期
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