阶梯变掺杂漂移区高压SOI RESURF结构耐压机理研究

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xlq0225
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
研究了阶梯变掺杂漂移区高压SOI RESURF(Reduce SURface Field)结构的器件几何形状和物理参数对器件耐压的影响;发现并解释了该结构纵向击穿时,耐压与浓度关系中特有的“多RESURF平台”现象。研究表明,阶梯变掺杂漂移区结构能明显改善表面电场分布,提高耐压,降低导通电阻,增大工艺客差;利用少数分区,能得到接近线性变掺杂的耐压,降低了工艺难度。
其他文献
通过对河南省40所高职院校图书馆开展读者入馆教育活动的现状进行调研,在了解高职院校图书馆网站中有关新生入馆教育版块设置情况、采用的载体和教育的方式等现状的基础上,指
适应性分析是当前全球环境变化与可持续性科学研究的前沿与热点领域之一。长三角地区产业系统适应性提升是面对其产业结构转型升级、市场经济不断深化等环境变化的必然选择。
产品伤害危机对企业的经营活动和品牌形象及消费者行为产生深刻的影响,对国内产品伤害危机相关文献进行梳理,可从产品伤害危机的概念、危机类型、对消费者影响、对品牌影响、应
SiC器件可以稳定工作于高温、高频、强辐射条件下的能力已经得到证实。在许多应用领域和系统中,SiC已经成为进一步提高性能的理想材料。但是,在SiC器件及其电路的数量按比例增
本文介绍并分析了一种可与微机兼容的12位D/A转换器的工作原理及其应用。该D/A电路内有高稳定的齐纳隐埋基准,数字输入采用了两级缓冲锁存结构,片内含速输出放大器。本文给出了其主要性
黑龙江省依安县农民专业合作社经过多年的发展已经初步形成有技术、有市场的规范化水平,在促进依安县农业生产增收方面起着重要作用.农民专业合作社在发展中还存在一些问题,
“十一五”以来,黑龙江省煤炭产业能源效率得到显著的提高,但与国际国内先进水平对比,黑龙江省很多企业仍处于煤炭能源效率较低的水平。在低碳经济环境下,提高能源效率是解决能源
中小企业由于信息不对称、风控难度大、审贷成本高等问题,饱受资金瓶颈制约。单纯依赖金融系统解决中小企业融资问题难以取得突破。本文通过分析大型企业在帮助有业务合作的中