【摘 要】
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本文报道了一种工艺较简单的新结构垂直腔面发射激光器的设计与初步研制结果。所用的外延片是由分子束外延生长的，下镜面是由301／2对AI0．1Ga0.0As/AIAs异质膜构成的分布布拉格反
【机 构】
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吉林大学电子工程系电子科学与技术研究所,吉林大学电子工程系电子科学与
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本文报道了一种工艺较简单的新结构垂直腔面发射激光器的设计与初步研制结果。所用的外延片是由分子束外延生长的，下镜面是由301／2对AI0．1Ga0.0As/AIAs异质膜构成的分布布拉格反射器，上镜是由81／2对AI0．1Ga0.9As/AIAs异质膜构成的分布布拉格反射器及半反射反透明的金属膜组合构成。器件的电流注入区由钨丝掩蔽两次质子轰击形成。器件初步研制已实现了室温脉冲敷射，阈值最低320mA，最大峰值功率可达9mW。
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