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德国汉堡电子同步加速器中心的自由电子激光装置(FLASH)在1000万瓦电能的作用下,创造出最短波长13.5至13.8纳米、每秒150次脉冲、每次脉冲激光能量达170微焦耳的自由电子激光世界新纪录。自由电子激光为纳米科学、生物技术、微系统工程、光学技术、材料工程和制造工程等领域提供了新的研究手段,在半导体工业中,尤其需要使用13.5纳米波长的激光。