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N^+和N2^+离子注入硅的材料性能研究
N^+和N2^+离子注入硅的材料性能研究
来源 :大连大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:darling1989
【摘 要】
:
本文应用X射线衍射方法、红外光谱分析方法、扩展电阻测量方法研究了N+和N+2注入硅的应变、损伤度、扩展电阻率随注入剂量、注入深度变化的规律,形成Si3N4非晶层的条件.建立
【作 者】
:
王国全
解英艳
【机 构】
:
沈阳大学,大连大学
【出 处】
:
大连大学学报
【发表日期】
:
2005年2期
【关键词】
:
损伤层
扩展电阻
N^+
N2^+
离子注入硅
材料性能
红外光谱分析
胁变函数
strain injury layer spreading resistanc
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本文应用X射线衍射方法、红外光谱分析方法、扩展电阻测量方法研究了N+和N+2注入硅的应变、损伤度、扩展电阻率随注入剂量、注入深度变化的规律,形成Si3N4非晶层的条件.建立了多层的物理模型和胁变函数的数学模型,利用计算机和曲线拟合等手段,得出了合理的结论.
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